Vaccoat手套箱用雙靶渦輪泵濺射鍍膜機(jī)和熱蒸發(fā)器DST2-TG

更新時(shí)間：2024-05-20

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DST2-TG 是一款雙靶渦輪泵濺射鍍膜機(jī)，配有供手套箱使用的熱蒸發(fā)器，是一種多真空鍍膜機(jī)系統(tǒng)，將熱蒸發(fā)器和濺射鍍膜機(jī)結(jié)合在一個(gè)緊湊的桌面系統(tǒng)中，并通過(guò) Wi-Fi 連接進(jìn)行遠(yuǎn)程系統(tǒng)控制，可通過(guò)觸摸屏和PC控制。

高真空系統(tǒng)適用于多種材料的沉積。雙磁控靶臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)可以在蒸發(fā) 和濺射沉積之間輕松切換，以制備多層涂層。

DST2-TG磁控臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)是高精度半/全自動(dòng)真空鍍膜系統(tǒng)，配備大室（直徑300毫米）和兩個(gè)2英寸直徑水冷陰極，適合長(zhǎng)時(shí)間沉積。該系統(tǒng)是用于濺射、碳纖維和金屬蒸發(fā)的單一平臺(tái)。磁控臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)可以濺射半導(dǎo)體、電介質(zhì)和金屬靶材。濺射陰極和熱蒸發(fā)船可以安裝在一起或互換安裝，總共可以使用三個(gè)沉積源（下訂單時(shí)）。利用碳纖維也可以實(shí)現(xiàn)碳沉積。

兩級(jí)旋片前級(jí)泵

高真空內(nèi)置渦輪泵90 l/s

全量程真空計(jì)

大室（直徑 300 毫米，高度 20-25 厘米）適合大型樣品沉積

電動(dòng)升降臂可在真空室中上下移動(dòng)

兩個(gè) 2" 水冷濺射陰極

兩個(gè)石英晶體傳感器（1 nm 精度）用于實(shí)時(shí)厚度測(cè)量

安裝在手套箱上的 KF40 饋通件，用于電源（直流、射頻和高電流 (HC)）、真空泵軟管、水冷卻和氬氣/反應(yīng)氣體連接以及電氣連接

兩臺(tái)精密質(zhì)量流量計(jì) (MFC)，用于精確控制真空和壓力

電子百葉窗

陰極選擇電機(jī)