日本YUTAKA絕壓型壓力控制器設備L88系列 L88SS 特點介紹

L88系列是針對半導體制造氣體B2H6而設計的二級減壓結構的產(chǎn)品。

作為抑制B2H6減壓生成產(chǎn)物的措施，中間壓力為3MPa，調(diào)節(jié)閥結構為平密封型，采用PCTF調(diào)節(jié)閥座，抑制了缺陷。它也非常適合絕熱膨脹變化較大的 NF3。

功能高壓

焊接規(guī)范金屬墊片配件調(diào)節(jié)閥結構平密封式散裝氣體兼容氣體7 種特殊高壓氣體

腐蝕性氣體

有毒氣體以外的氣體 純

氣體設備標準流量～60NL/分鐘

日本YUTAKA絕壓型壓力控制器設備L88系列 L88SS 規(guī)格參數(shù)

源壓力波動 入口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化量0.00075MPa 

承受壓力 22.2MPa（進口側(cè)） 

CV值 0.08 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

內(nèi)部容積 12.58cm（不含3個壓力表及接頭） 

大量的 約2.4公斤 

1/4" 面對面密封接頭尺寸（公頭）…約 88mm

1/4" 面對面密封接頭尺寸（母頭）…約 105mm

[備注]

■ 壓力表連接接頭的標準尺寸和形狀為1/4" 外螺紋面密封接頭。

■ 進出口接頭的類型、尺寸和形狀（外螺紋、內(nèi)螺紋）組合如圖所示。可以從以下所示的產(chǎn)品型號代碼表中進行選擇。

■ UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接頭的面對面尺寸可能與標準面對面尺寸不同。

產(chǎn)品編號代碼