日本Atomax噴嘴AM系列半導(dǎo)體晶圓精密?chē)娡?/strong> AM6/AM12/AM25/AM45 特點(diǎn)介紹

通過(guò)微量精密?chē)婌F，即可獲得平均粒徑約5μm的超細(xì)顆粒。它有一個(gè)非常小的噴嘴，可以與20-750瓦的空氣壓縮機(jī)一起運(yùn)行。

主要用途包括表面薄膜涂層、科學(xué)和醫(yī)療領(lǐng)域的極微量噴涂以及房間和各種設(shè)施的滅菌和消毒。

AM6和12型適合以極低的流量噴射細(xì)顆粒。壓縮氣體流量也比傳統(tǒng)噴嘴小。主要應(yīng)用包括半導(dǎo)體晶圓精密?chē)娡?、電子元件及功能材料制造過(guò)程中的薄膜形成、噴涂、鍍膜等。

日本Atomax噴嘴AM系列半導(dǎo)體晶圓精密?chē)娡?/strong> AM6/AM12/AM25/AM45 規(guī)格參數(shù)

アトマックスノズルCN CNP型は、大流量噴射に適したノズルです。液剤の吐出口徑は3.5mmから5.6mmと非常に大きく、高粘度液剤でも目詰まり、前垂れ、ボタ落ちも無(wú)く微?；工毪长趣扦蓼?。特にCN型は、液剤を吸上げる自吸圧力が高いため作業(yè)條件によっては、ポンプレスで使用することができます。

CN CNP CNW型は、構(gòu)成部品にOリングを使用しておりませんので使用液剤の制限が広く、また高溫環(huán)境の雰囲気での運(yùn)転に適しております。

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