日本進口shibaura多離子計檢測儀氣壓測量 GMi 系列 特點介紹

廣域測量可測量

從大氣壓到高真空區(qū)域（10 5～ 5×10 -8 Pa）（同時使用GPM和GAM時）

可以連接具有不同測量范圍的測頭。使用

多離子計可以讓您根據(jù)應用選擇測頭。

準確的氣壓測量

可以輕松準確地確認氣壓（使用GAM時）

對環(huán)境影響低

只需根據(jù)需要更換探頭即可，降低運行成本。

提高可視性

配備 LED，可讓您檢查異常情況

可維護性

易于更換探頭

各模式規(guī)格（組合模式）

GMi+GPM（離子計+皮拉尼計）

GMi+GPM+GAM（離子計+皮拉尼計+大氣壓傳感器）

測量值輸出信號

壓力為0～10V輸出（Log輸出）

可輸出 3 個控制輸出信號

設定點 (GMi-1)

串行通信規(guī)格

可進行RS232C/RS485通信(GMi-2)

日本進口shibaura多離子計檢測儀氣壓測量 GMi 系列 規(guī)格參數(shù)

模型GMi-1GMi-2

規(guī)格標準規(guī)格 串行通訊規(guī)格 

適應性強的多離子規(guī)傳感器M34 (NW16), M35 (NW25) 

可連接傳感器 多離子壓力計 傳感器：1 個

皮拉尼壓力計 GPM：1 個（可選）

大氣壓力傳感器 GAM：1 個（可選） 

采樣時間70 ms 4次移動平均處理 

測量值輸出輸出電壓 DC 0 至 10 V，Log 輸出 0.75 V / 1 位

壓力轉(zhuǎn)換公式 V = 7.25 + 0.75 × (Log P - 2) P = 10 ^ { ( V - 7.25 ) / 0.75 + 2 }

*對于設定點調(diào)節(jié) 兼作輸出電源（僅限 GMi-1） 

更新時間50毫秒 

控制輸入信號FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF

采用集電極開路輸入、負邏輯操作*FIL ON/OFF 信號的使用方法因模式而異。 - 

控制輸出信號傳感器錯誤，設定點 1/2/3

發(fā)射有效

燈絲功率監(jiān)控

額定值：24 VMAX、50 mAMAX、

飽和電壓 1 V - 

串行通訊規(guī)格- RS232C/RS485 

LED顯示屏POWER/ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化）

FIL：發(fā)射有效 LED 

SET1：設定值 1 LED

SET2：設定值 2 LED

SET3：設定值 3 LED - 

發(fā)射電流1mA（1×10 -3 Pa以下）、10μA 

脫氣電子轟擊法（電子轟擊）1mA，330V 

傳感器耐壓2×10 5 Pa（絕對壓力） *必須單獨考慮法蘭、卡箍等的耐壓能力。