TESCOM美國絕對減壓閥亞真空壓力調(diào)節(jié)器 64-5000系列 特點介紹

TESCOM 64-5000 系列超高純度、絕對/亞真空壓力減壓調(diào)節(jié)器可提供 10 Ra 的表面光潔度。

進口壓力為 120、600 或 3500 psi/8.3、41.4 或 241 巴，出口壓力范圍為 50 mm Hg 絕對值 -15 至 100 psi/50 mm Hg，絕對值 -1.0 至 6.9 巴。

應(yīng)用領(lǐng)域

· 真空壓力控制

· 有毒氣體分析

· 閥門歧管箱

· 氣體柜

· 半導(dǎo)體制造特點和優(yōu)勢

· 負(fù)偏壓控制真空和低壓

· 10 Ra微英寸/0.25微米內(nèi)表面光潔度

· 金屬對金屬隔膜密封，密封性好

TESCOM美國絕對減壓閥亞真空壓力調(diào)節(jié)器 64-5000系列 規(guī)格參數(shù)

最大進口壓力120、600或3500磅/平方英寸8.3、41.4或241巴出口壓力范圍50 mm Hg

絕對值-15磅/平方英寸1.0巴50 mm Hg 絕對值-30磅/平方英寸2.1巴50 mm H g

絕對值-60磅/平方英寸4.1巴50mm Hg絕對值- 100磅/平方英尺6.9

巴設(shè)計證明壓力最大額定值的150%舷內(nèi)泄漏率<1 x 10-9 atm cc/sec He

操作溫度PTFE座：-40°F至140°F/ -40°C至60°C

特氟隆®座：-40至160°F/ - 40°C至71°C流體容量Cv=0.24（120磅/平方英寸/8.3巴型號）

Cv=0.15（600磅/平方英里/41.4巴型號）Cv = 0.06（3500磅／平方英寸／241巴型號）