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日本nisshooptical日商精光微米高度測(cè)量?jī)x 1. 這是一種新型深度和高度測(cè)量裝置，結(jié)合了使用光切割的狹縫圖像觀察和使用聚光圖像的AF（自動(dòng)對(duì)焦）跟蹤。 2. 連續(xù)跟蹤自動(dòng)對(duì)焦驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)快速、易于使用的測(cè)量，并具有高重復(fù)性。

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